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关键词:陶瓷烧结炉碳化硅陶瓷烧结炉氮化铝烧结炉氧化锆烧结炉真空烧结炉 
碳化硅烧结炉(立式)
碳化硅烧结炉(立式)
产品描述:
碳化硅烧结炉(立式)主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等。

碳化硅烧结炉(立式)技术特征

可选取多温区经济独立控温,温湿度饱满性好;

按照F66永乐技术设备个性化超标温、大功率引电技术设备,能在持续高温的条件下长时期用到;

用到特俗的中高温红外估测技能,控温精确,差值小;

全通风马弗,隔绝治疗好用,抗破坏本事强;

联级有效率排放补救系统软件,区域环境友善,易清除垃圾;

可选装配脱脂系统软件,改变瓷砖所制品的脱脂烧结法一起性清理;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(立式)产品规格

指标\机型VSC-0612VSC-0810VSC-1015VSC-1315VSC-1520
工作区尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ800×1000φ1000×1500φ1300×1500φ1500×2000
最高温度(℃)1500-24001500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
超过数据可给出加工过程标准采取整改,未有为验收单根据,实际以水平工作方案和协商为界。

碳化硅烧结炉(立式)配置选择

设备构造形态:臥式-单关业/双关业;柜式-上长料/下送料

炉把手锁紧行为:手動/全自动

炉壳的材质:全碳素钢/外膜铝合金板/全铝合金板

恒温质材:碳毡/石墨毡/碳食物纤维凝固毡

煮沸器、马弗的材料:等负压石墨/CFC/瓷质

pt100:K/N/C/S精度等级号

红外仪:单比色/双比色

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