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关键词:陶瓷烧结炉碳化硅陶瓷烧结炉氮化铝烧结炉氧化锆烧结炉真空烧结炉 
碳化硅烧结炉(立式)
碳化硅烧结炉(立式)
产品描述:
碳化硅烧结炉(立式)主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等。

碳化硅烧结炉(立式)技术特征

可使用多温区独立的控温,环境温度更加均匀性好;

选用F66永乐创新科技专享超宽温、大电压引电技术性,能在较高温度条件下长时实用;

通过异常的中高温红外侧量技术应用,控温精确度,不确定度小;

全封闭空间马弗,密封胶治疗效果非常的好,抗水污染程度强;

多级别高效化空气进行处理平台,情况友爱,易保养;

可选装配脱脂体统,建立工业陶瓷肉食品的脱脂焙烧一场性处里;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(立式)产品规格

参数表\类型VSC-0612VSC-0810VSC-1015VSC-1315VSC-1520
工作区尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ800×1000φ1000×1500φ1300×1500φ1500×2000
最高温度(℃)1500-24001500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
以下参数值可结合科技规定使用整改,未有为检验基本原则,实际上以科技策划方案和合同样本为标准。

碳化硅烧结炉(立式)配置选择

构造手段:卧试-单開門/双開門;旋转式-上起料/下上料

炉房门锁紧行为:手動/会自动

炉壳材料:全碳素钢/内部不銹钢/全不銹钢

保温隔热原料:碳毡/石墨毡/碳黏胶纤维固化型毡

升温器、马弗材質:等动压石墨/CFC/卫浴陶瓷

热电阻:K/N/C/S精度等级号

红外仪:单比色/双比色

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