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碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可用多温区人格独立控温,温度表粗糙性好;

采取F66永乐创新科技专属于超标温、大瞬时电流引电技术工艺,能在气温先决条件下很久间隔使用的;

选用特别的炎热红外在测量技术工艺,控温精准的,随机误差小;

全密闭马弗,密闭视觉好,抗被污染的工作能力强;

多极更高效废气净化处理系统的,条件友善,易请理;

能选配脱脂系统的,做到瓷质成品的脱脂焙烧一下性处理;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

主要参数\形号HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

上面的叁数可利用方法规范要求来进行改变,未有为项目结束验收证据,基本以方法方案怎么写和服务协议起算。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

架构状态:离心式-单关业/双关业;旋转式-上起料/下放料

炉房门锁紧方式方法:带有大量手动/全自动

炉壳在材质:全碳钢板/表层304不绣钢/全304不绣钢

恒温才质:碳毡/石墨毡/碳人造纤维凝固毡

煮沸器、马弗质材:等动压石墨/CFC/陶瓷厂家

热电阻:K/N/C/S测量范围号

红外仪:单比色/双比色

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