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关键词:真空烧结炉陶瓷烧结炉高温真空烧结炉碳化硅陶瓷烧结炉
碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可用多温区人格独立控温,温度表平滑性好;

利用F66永乐科学个性化超长温、大电流大小引电技術,能在较高温度先决条件下长时期运用;

采取特有的炎热红外在线测量技术性,控温较准,测量误差小;

全密闭式马弗,密封隔绝的性能好,抗的污染技能强;

单级高效性汽车尾气加工设备,的环境和谐,易清除;

自选配脱脂设计,建立陶瓷厂家成品的脱脂烧结法两次性外理;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

规格\款式HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

以上的工艺参数可利用方法请求实施修改,不当为检查验收前提条件,准确以工艺规划和协议范本为基准。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

结构设计的形式:旋转式-单下班/双下班;旋转式-上长料/下出料口

炉车门锁紧玩法:人工手动开启机组/自動

炉壳材质原料:全冷轧钢/里边铝合金板/全铝合金板

隔温所选材质:碳毡/石墨毡/碳化学纤维固有毡

电暖气片、马弗质材:等负压石墨/CFC/卫浴陶瓷

电偶:K/N/C/S度数号

红外仪:单比色/双比色

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