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氮化铝烧结炉(卧式)
氮化铝烧结炉(卧式)
产品描述:
氮化铝烧结炉(卧式)主要用于半导体领域的氮化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结。
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件

氮化铝烧结炉(卧式)技术特征

使用非常规的炉胆结构设计和预热器布置房间,炉温竖直性好;

全紧闭马弗,密封圈体验好,抗污染破坏工作能力强;

可应有真空度烧结法工艺工艺、-压脱脂烧结法工艺工艺、载气脱脂烧结法工艺工艺等效果;

可以配脱脂整体,建立瓷质所制品的脱脂烧结工艺以此性进行处理;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化铝烧结炉(卧式)产品规格

参数表\规格HSN-040418HSN-050515HSN-060612HSN-060618
工作区尺寸 W×H×L(mm)400×400×1800500×500×1500600×600×1200600×600×1800
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.67
之内产品参数可按照其加工追求实现修正,不用作为报验按照,大概以技术应用情况报告和协议格式来算。

氮化铝烧结炉(卧式)配置选择

炉车门锁紧模式:手动挡/自功

炉壳木头材质:全碳钢板/里边冷库保温隔热板的表层/全冷库保温隔热板的表层

保冷原料:碳毡/石墨毡/碳玻纤固化型毡

加温器、马弗不锈钢材质:石墨/CFC/陶瓷厂家

热电偶温度计:K/N/C/S度数号(钨钢穿墙套管/钼钢穿墙套管/卫浴陶瓷管)

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