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氮化铝烧结炉(立式)
氮化铝烧结炉(立式)
产品描述:
氮化铝烧结炉(立式)主要用于半导体领域的氮化铝等陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件。

氮化铝烧结炉(立式)技术特征

适用特俗的炉胆架构和调温器布置设计,炉温均匀的性好;

全封闭马弗,封好视觉效果明显,抗环境污染本事强;

可应具正空焙烧、差压脱脂焙烧、载气脱脂焙烧等用途;

要选配脱脂软件,达成瓷砖包装品的脱脂辊道窑一遍性补救;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化铝烧结炉(立式)产品规格

参数表\主要参数VSN-0612VSN-0812VSN-1015
工作区尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.67
以下性能可依照施工工艺想要完成整改,不当为检收依照,实际以工艺计划书和商议是以。

氮化铝烧结炉(立式)配置选择

炉暗锁紧具体方法:手工/自动化

炉壳不锈钢304材料材质:全合金钢/外层不锈钢304材料/全不锈钢304材料

保冷板材:碳毡/石墨毡/复合材料板固定毡

烧水器、马弗材料做:石墨/CFC/瓷质

pt100:K/N/C/S测量范围号(钨保护管/钼保护管/瓷砖管)

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