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氮化铝烧结炉(立式)
氮化铝烧结炉(立式)
产品描述:
氮化铝烧结炉(立式)主要用于半导体领域的氮化铝等陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件。

氮化铝烧结炉(立式)技术特征

进行特色的炉胆构造和受热器部置,炉温均衡性好;

全通风马弗,密封性目的好,抗环保问题作用强;

可享有蒸空焙烧法、-压脱脂焙烧法、载气脱脂焙烧法等职能;

可以选择配脱脂系统软件,推动卫浴陶瓷成品的脱脂煅烧多次性处理;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化铝烧结炉(立式)产品规格

性能指标\形号VSN-0612VSN-0812VSN-1015
工作区尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.67
上面叁数可不同方法想要做出調整,不予为项目结束验收根据,实际以技艺方案范文和合同范本起算。

氮化铝烧结炉(立式)配置选择

炉电控锁紧原则:手動/智能

炉壳布料材质:全碳钢板/表层304不绣钢装饰管吗/全304不绣钢装饰管吗

墙体保温板材:碳毡/石墨毡/碳黏胶纤维凝固后毡

煮沸器、马弗不锈钢材质:石墨/CFC/工业陶瓷

铂热电阻:K/N/C/S量程号(钨保护管/钼保护管/陶瓷制品管)

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