卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

电阻值炉可运用多温区孤立控温，温更加均匀性好；

通过智力负担控制，负担跌涨小；

全全封火成岩室，封严成效好，抗严重污染效率强；

多缓冲区加工制作工艺 气路，步骤竖直，无沉淀㓟盲区，沉淀结果好；

多级别有效率性废气进行处理机系统，情况和睦，能有效率性搜集烟焦油及副剩余物，易清理工作；

待选配外反复的快冷软件系统，制冷精力短，的生产工作效率高，灵活方便；

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数设置\产品型号	HCVD-060609-C	HCVD-101015-C	HCVD-121220-C	HCVD-151530-C	HCVD-152023-C	HCVD-252035-C
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	1500×2000×2300	2500×2000×3500
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±10	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	功率电阻	功率电阻	电阻器	电阻值	阻值

大于性能可会根据工序规定使用修改，不为为检验前提，具体的以技术水平方案范文和合同应写。

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

格局的方式：臥式-单锁门/双锁门；垂直-上长料/下喷料

炉防盗门锁紧模式：人工手动开启机组/半自动

炉壳材料：全合金钢/里层304不锈钢板/全304不锈钢板

保热在材质：碳毡/石墨毡/碳人造纤维板应用毡/淘瓷人造纤维板毡

微波电加热棒、马弗：石墨/CFC/金属材质

电偶：K/N/C/S量程号

电源开关：KGPS/IGBT(仅采适用中频加熱)