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关键词:化学气相沉积炉CVD系统CVI沉积炉
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)主要用于以碳氢气体(天然气、丙烷、丙烯)为碳源的预制体气相渗透增密处理
应用范围:
炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

热敏电阻炉可主要包括多温区独有控温,环境温度一致性好;

主要采用自动化阻力干预,阻力震荡小;

全封闭式磨合室,密封性的较好,抗生态破坏特性强;

多工作区加工过程气路,工艺流程不均,无的堆积㓟盲区,的堆积感觉好;

三级高质量益汽车尾气处里系统软件,大环境舒适,能高质量益回收利用煤焦油及副货物,易清理工作;

必选配外间歇快冷软件,加温期限短,生孩子效应高;

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数指标\款式HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作区尺寸
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
最高温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5±7.5±10±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻阻值电阻器功率电阻电阻器电阻值
上文基本参数可表明流程需要进行懂得调整,不予为工程竣工验收数据,准确以的技术解决方案和合同书为标准。

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

成分手段:立试-单打开馆/双打开馆;立试-上起料/下出料口

炉电控锁紧策略:一键/一键

炉壳原料:全碳钢板/里层不銹钢/全不銹钢

隔热材料:碳毡/石墨毡/碳氯纶干固毡/陶瓷制品氯纶毡

微波电加热器、马弗:石墨/CFC/金属制

电偶:K/N/C/S精度等级号

开关电源:KGPS/IGBT(仅实使用在中频电加热)

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