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碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可采取多温区独有控温,体温匀称性好;

分为F66永乐科技开发属于高的温度、大功率引电技能,能在高的温度前提下长时段采用;

用特别的的较高温度红外测试新技术,控温精确度,出现偏差的原因小;

全封闭马弗,封闭功效好,抗破坏能力素质强;

多极高效益尾气排放处置系统软件,情况友好合作,易清理工作;

可选择配脱脂系统软件,建立陶瓷所制品所制品的脱脂煅烧连续性外理;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

主要参数\参数HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

大于参数值可选择的工艺规定要求来进行优化,不当为检验措施,详细以的技术规范怎么写和合同协议为基准。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

框架模式:落地-单下班/双下班;落地-上长料/下送料

炉车门锁紧玩法:清理/自己

炉壳材質:全合金钢/里层不绣钢/全不绣钢

恒温质量:碳毡/石墨毡/碳棉纤维应用毡

微波暖气片、马弗所选材质:等压力石墨/CFC/卫浴陶瓷

热电阻:K/N/C/S测量范围号

红外仪:单比色/双比色

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