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关键词:真空烧结炉陶瓷烧结炉高温真空烧结炉碳化硅陶瓷烧结炉
碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可选用多温区单独控温,气温平滑性好;

采取F66永乐新材料技木独有的超多温、大电压电流引电技木,能在低温條件下很久段实用;

使用非常规的温度过高红外精确测量技巧,控温较准,测量误差小;

全通风马弗,良好的密封性成果好,抗弄脏的能力强;

单级高效性烟气处里软件系统,生态环境团结,易清洁;

可以配脱脂程序,确保瓷质工艺品的脱脂辊道窑每次性补救;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

主要参数\产品型号HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

上基本参数可按照艺规定要求做调正,未有为项目结束验收原则,具体化以技术应用方案设计和商议是以。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

格局手段:水平-单关门/双关门;落地式-上长料/下打料

炉车门锁紧方式:清理/主动

炉壳原料:全合金钢/外层不锈钢板圆管/全不锈钢板圆管

隔热板材:碳毡/石墨毡/碳钎维固化型毡

加温器、马弗不锈钢材质:等负压石墨/CFC/卫浴陶瓷

热电阻:K/N/C/S精度等级号

红外仪:单比色/双比色

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