超高温碳化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全紧闭形成沉积室，封闭感觉好，抗污染问题水平强；

多的通道方法气路，流场透亮，无形成盲区，形成成效好；

联级更高效废气清理装置，能能够清理高结垢性废气、易燃易爆物品易爆气态、气体粉尘爆炸及低沸点延展性副产物，条件友爱；

要选配新设计的的玻璃钢防金属腐蚀真空室发动机组，定期操作时期长，返修率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

超高温碳化物沉积炉产品规格

因素\规格	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10	±15	±5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻功率	电阻功率

上面数据可按照加工制作工艺 必须实现设定，不用于为工程竣工验收前提，到底以新技术标准格式和协议模板为界。

超高温碳化物沉积炉配置选择

构造类型：柜式-单锁门/双锁门；双面-上长料/下进料

炉执手门锁紧途径：自功/半自动

炉壳材料做：外层304不绣钢/全304不绣钢

隔温原料：碳毡/石墨毡/碳纤维材料棉固有毡

微波暖气片、马弗原材料：石墨/CFC

电偶：C/S精度等级号

红外仪：单比色/双比色

机械装备泵泵：机械装备泵组/耐金属腐蚀泵组