超高温碳化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全封闭基性岩室，密封性能使用作用好，抗的污染工作能力强；

多节点加工制作工艺 气路，流场光滑，无堆积物墙角，堆积物使用好用；

多级别高效率的烟气解决平台，能效果解决高腐蚀不锈钢性烟气、易然易爆空气、混合物粉层及低溶点黏力有机物，区域友好关系；

可选装配新设计的的抗腐蚀性蚀重力作用空调机组，坚持工做精力长，抢修率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

超高温碳化物沉积炉产品规格

运作\类型	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10	±15	±5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	阻值	热敏电阻

上面的参数表可不同工艺流程耍求去优化，不予为竣工验收保证，明确以技艺方案范文和合同协议是以。

超高温碳化物沉积炉配置选择

结构设计主要形式：水平-单关门/双关门；双面-上起料/下放料

炉锁芯紧手段：人工手动开启机组/电脑自动

炉壳才质：内部不透钢材质的/全不透钢材质的

隔热原料：碳毡/石墨毡/碳钎维固有毡

受热器、马弗木头材质：石墨/CFC

电偶：C/S精度等级号

红外仪：单比色/双比色

真空体泵：机制泵组/耐防腐蚀泵组