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关键词:化学气相沉积炉CVD气相沉积炉化学气相沉积设备CVD系统
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
立式化学气相沉积炉(沉积炭)用于以碳氢气体(天然气、丙烷、丙烯)为碳源的预制体气相渗透增密处理
应用范围:
炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电容炉可所采用多温区独立空间控温,室内温度均衡性好;

主要包括自动化压差调节,压差起伏较大小;

全全封累积室,良好的密封性成效好,抗环境破坏力强;

多过道技艺气路,的流程更加均匀,无沉淀盲区,沉淀功能好;

多极提高效率化尾气排放处理系统性,区域环境友谊,能提高效率化收藏渣油及副货物,易进行清洁;

能选配外反复快冷操作系统,降低温度期限短,加工有效率;

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

基本参数\类型VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
工作区尺寸D×H(mm) Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500 1500
温度均匀性(℃) ±5/±10 ±7.5/±10 ±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100 1-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67 0.67
加热方式电阻/感应内阻/感器电阻器/感测器内阻/感受到阻值/感测器电阻功率/光感应

基本参数\规格VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3344-CVCVD-6660-C
工作区尺寸D×H(mm) Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×4400Φ6600×6000
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500
温度均匀性(℃)±15±15±15±20±20
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67
加热方式电阻电阻功率电阻功率阻值电阻值

之内性能可只能根据的工艺规范做进行调节,未有为查看法律依据,具体实施以技术应用计划和合同样本时以。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构特征手段:落地-单下班/双下班;落地-上长料/下送料

炉电磁锁紧方试:人工/自行

炉壳面料:全合金钢/里层不透钢板/全不透钢板

隔温材质原料:碳毡/石墨毡/碳弹性纤维材料凝固后毡/工业陶瓷弹性纤维材料毡

受热器、马弗:石墨/CFC/复合

热电偶及补偿导线:K/N/C/S测量范围号

供电:KGPS/IGBT(仅适宜于中频微波加热)

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