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关键词:碳化硅涂层炉化学气相沉积炉碳化硅沉积炉CVD/CVI系统
立式化学气相沉积炉(SiC、BN)
立式化学气相沉积炉(SiC、BN)
产品描述:
立式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围:
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

按照现进的设定技艺,能细密设定MTS的流量数据和负荷,炉膛内沉积物气旋比较稳定,负荷起伏范围图小;

全封闭基性岩室,封好作用好,抗环境污染实力强;

多节点工艺流程气路,流场一致,无形成任何死角,形成治疗管用;

多用效率空气操作操作系统,能行之有效操作高防腐蚀不锈钢空气、可燃易爆混合气体、混合物煤尘及低溶点沾性副产物,的环境友善;

可供选择配新设计构思的防腐施工蚀真空室超临界锅炉,坚持工作上准确时间长,保修率超低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

参数设置\应用VCVD-0305-SICVCVD-0608-SICVCVD-0812-SICVCVD-1120-SICVCVD-1520-SIC
工作区尺寸D×H(mm) 300×500 600×800 800×1200 1100×2000 1500×2000
最高温度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500
温度均匀性(℃) ±5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
加热方式电阻电容电阻值电阻功率功率电阻

往上参数指标可通过技能耍求使用调控,不于为检查验收根据,详细以技能方案格式和合同范本时以。

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

组成部分表现形式:离心式-单关门/双关门;柜式-上有料/下放料

炉锁紧形式:自然改手动/自然

炉壳木头材质:表层304不绣钢管/全304不绣钢管

隔热保温所选材质:碳毡/石墨毡/碳钎维固有毡/瓷砖钎维毡

调温器、马弗才质:石墨/CFC/塑料

热电偶及补偿导线:K/N/C/S精度等级号

高压气泵:机泵组/耐蚀化泵组

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