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主要采用先进典型的操作技術，能五金机械操作MTS的用户流量和经济负担，炉膛内沉淀积累气旋固定，经济负担变化範圍小；
全封闭空间岩浆岩室，密封带功效好，抗污染源意识强；
多绿色通道技艺气路，流场不光滑，无累积墙边，累积实际好用吗；
单级高效益废气排放操作软件系统，能行之有效操作高锈蚀性废气排放、可燃易爆气休、无水硫酸铜灰尘及低融点延展性代谢物，条件信赖；
先选配新制定的防水蚀抽真空空气能，延续的运作时间间隔长，维修费率非常低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 参数指标\参数 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作区尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 阻值 | 电阻功率 | 内阻 | 热敏电阻 |
上产品参数可结合艺标准对其进行设定，不是为复验根据，主要以的技术措施和协议格式为界。
型式手段：臥式-单开馆/双开馆；落地-上起料/下给料
炉电控锁紧的方式：清理/自然
炉壳在材质：里边304不锈钢板/全304不锈钢板
保暖质材：碳毡/石墨毡/复合材料材料固有毡/淘瓷植物纤维材料毡
加水器、马弗材料：石墨/CFC/合金材料
pt100：K/N/C/S精度等级号
正空泵：机械厂泵组/耐灼伤泵组
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