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超高温硼化物沉积炉
超高温硼化物沉积炉
产品描述:
超高温硼化物沉积炉主要用于碳碳复合材料及其它新型炭材料等超高温陶瓷化处理
应用范围:
炭炭板材、炭炭喷管等

超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

全紧闭磨合室,密封性郊果好,抗水污染的能力强;

多绿色通道加工气路,流场均匀分布,无磨合任何死角,磨合感觉好;

多极很好率空气解决系统,能很好解决高耐腐蚀影响空气、容易燃烧易爆气休、固态物体粉尘浓度及低溶点黏性乙酰乙酸,生活环境舒适;

可选装配新设置的防腐材料蚀真空箱空气能热泵,定期工作中期限长,处理率低;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高温硼化物沉积炉产品规格

数据\参数HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
最高温度(℃)2000200020002000200020002000
温度均匀性(℃)±10±15±5±7.5±10±10±15
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻功率电阻电阻
上叁数可要根据生产工艺耍求来的调整,不为为查看理论依据,明确以技术设备方案怎么写和意向书起算。

超高温硼化物沉积炉配置选择

结构设计表现形式:卧试-单开业/双开业;垂直-上起料/下打料

炉电控锁紧方试:一键/电脑自动

炉壳质量:内部装饰管304/全装饰管304

保冷布料材质:碳毡/石墨毡/碳弹性纤维凝固毡

预热器、马弗在材质:石墨/CFC

热电偶及补偿导线:C/S精度等级号

红外仪:单比色/双比色

进口进口真空泵:机制泵组/耐腐烛泵组

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