超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全封密磨合室，封密使用好用，抗严重污染本事强；

多工作区制作工艺气路，流场透亮，无形成盲区，形成感觉好；

多极高效化废气排放操作系统性，能行之有效操作高锈蚀性废气排放、可燃易爆混合气体、粉状焊接烟尘及低沸点沾性终产物，环镜融洽；

可供选择配新结构设计的抗结垢蚀重力作用汽轮发电机组，不间断运作耗时长，返修率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

超高温硼化物沉积炉产品规格

参数指标\类型	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10	±15	±5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	功率电阻	电阻

以上的性能可根据工序特殊要求实现修改，未有为初验根据，具体实施以技术设备策划方案和协商为界。

超高温硼化物沉积炉配置选择

节构模式：柜式-单开馆/双开馆；立试-上有料/下出料口

炉暗锁紧习惯：一键改手动/一键

炉壳的材料：外膜304不绣钢/全304不绣钢

保温层面料：碳毡/石墨毡/碳合成纤维固有毡

高温器、马弗质量：石墨/CFC

铂热电阻：C/S度数号

红外仪：单比色/双比色

涡流泵：机戒泵组/耐结垢泵组