
采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;
全紧闭磨合室,密封性郊果好,抗水污染的能力强;
多绿色通道加工气路,流场均匀分布,无磨合任何死角,磨合感觉好;
多极很好率空气解决系统,能很好解决高耐腐蚀影响空气、容易燃烧易爆气休、固态物体粉尘浓度及低溶点黏性乙酰乙酸,生活环境舒适;
可选装配新设置的防腐材料蚀真空箱空气能热泵,定期工作中期限长,处理率低;
适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
| 数据\参数 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
| 工作区尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| 最高温度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 温度均匀性(℃) | ±10 | ±15 | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
| 极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 功率电阻 | 电阻 |
结构设计表现形式:卧试-单开业/双开业;垂直-上起料/下打料
炉电控锁紧方试:一键/电脑自动
炉壳质量:内部装饰管304/全装饰管304
保冷布料材质:碳毡/石墨毡/碳弹性纤维凝固毡
预热器、马弗在材质:石墨/CFC
热电偶及补偿导线:C/S精度等级号
红外仪:单比色/双比色
进口进口真空泵:机制泵组/耐腐烛泵组
