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关键词:碳化硅涂层炉化学气相沉积炉碳化硅沉积炉
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
产品描述:
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围:
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

应用品质可靠的的测控系统性,能细密的的控制MTS的手机流量和压为,炉膛内沉淀空气可靠,压为上下波动位置小;

全封闭空间形成室,封口感觉好,抗的污染力强;

多绿色通道新工艺气路,流场光滑,无形成物卫生死角,形成物效率好;

联级有效性率氮氧化合物进行工作软件系统,能有效性进行工作高结垢性氮氧化合物、易燃易爆物品易爆其他气体、粉状有害气体及低溶点黏力终产物,工作环境友好合作;

可选择配新制作的防潮蚀蒸空热泵机组,不断岗位时间段长,维修培训率越来越低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

规格\款型HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作区尺寸W×H×L(mm) 600×600×900 1000×1000×1500 1200×1200×2000 1500×1500×30002500×2000×3500
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500
温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±10 ±10±10
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67
加热方式电阻功率电阻热敏电阻热敏电阻电阻值

大于基本参数可保证方法规范做好调准,未有为收货保证,按照以技術细则和协议格式为界。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

结构设计手段:水平-单锁门/双锁门;立试-上起料/下喷料

炉车门锁紧途径:一键/一键

炉壳装饰管材质:外层装饰管/全装饰管

保温层木头材质:碳毡/石墨毡/碳化学纤维素干固毡/瓷砖化学纤维素毡

升温器、马弗才质:石墨/CFC/合金材料

热电偶温度计:K/N/C/S度数号

涡流泵:机戒泵组/耐生锈泵组

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