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选择先进集体的抑制技术工艺，能五金机械抑制MTS的流量数据和负压，炉膛内沉积状气浪固定，负压震荡使用范围小；
全封闭空间基性岩室，封好体验好，抗废弃物能力素质强；
多过道生产工艺气路，流场更加均匀，无积累卫生死角，积累效果最好的好；
单级快速排放解决系统性，能效果解决高结垢性排放、可燃易爆气物、固状烟尘及低融点沾性代谢物，情况和谐；
可选装配新来设计的防腐材料蚀蒸空超临界锅炉，将持续本职工作事件长，维修培训率较低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 基本参数\产品型号 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻功率 | 电阻器 | 电阻器 | 热敏电阻 |
往上叁数可要根据工艺设计追求完成改变，不于为项目结束验收措施，明确以科技细则和合同协议为界。
框架形态：离心式-单营业/双营业；旋转式-上有料/下放料
炉电控锁紧习惯：手动操作时/自行
炉壳质量：外膜不锈钢板圆管/全不锈钢板圆管
保溫原料：碳毡/石墨毡/碳钎维固定毡/工业陶瓷钎维毡
烧水器、马弗才质：石墨/CFC/金属材质
pt100：K/N/C/S精度等级号
真空室泵：自动化设备泵组/耐灼伤泵组
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