
应用品质可靠的的测控系统性,能细密的的控制MTS的手机流量和压为,炉膛内沉淀空气可靠,压为上下波动位置小;
全封闭空间形成室,封口感觉好,抗的污染力强;
多绿色通道新工艺气路,流场光滑,无形成物卫生死角,形成物效率好;
联级有效性率氮氧化合物进行工作软件系统,能有效性进行工作高结垢性氮氧化合物、易燃易爆物品易爆其他气体、粉状有害气体及低溶点黏力终产物,工作环境友好合作;
可选择配新制作的防潮蚀蒸空热泵机组,不断岗位时间段长,维修培训率越来越低;
使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 规格\款型 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| 最高温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 功率电阻 | 热敏电阻 | 热敏电阻 | 电阻值 |
大于基本参数可保证方法规范做好调准,未有为收货保证,按照以技術细则和协议格式为界。
结构设计手段:水平-单锁门/双锁门;立试-上起料/下喷料
炉车门锁紧途径:一键/一键
炉壳装饰管材质:外层装饰管/全装饰管
保温层木头材质:碳毡/石墨毡/碳化学纤维素干固毡/瓷砖化学纤维素毡
升温器、马弗才质:石墨/CFC/合金材料
热电偶温度计:K/N/C/S度数号
涡流泵:机戒泵组/耐生锈泵组
