卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

热敏电阻炉可主要包括多温区经济独立控温，温度因素均匀的性好；

采取智力压监测，压下跌小；

全全封沉淀室，封好使用好用，抗环境破坏程度强；

多车道技艺气路，步骤不光滑，无积累卫生死角，积累效率好；

联级便捷尾气排放工作模式，氛围友善，能便捷整理烟焦油及副化合物，易清理工作；

可供选择配外间歇快冷模式，物理降温的时间，加工速率高；

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

数据\材质	HCVD-060609-C	HCVD-101015-C	HCVD-121220-C	HCVD-151530-C	HCVD-152023-C	HCVD-252035-C
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	1500×2000×2300	2500×2000×3500
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±10	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	热敏电阻	内阻	电阻功率	热敏电阻	功率电阻

上述参数设置可选择生产技巧需要来进行调节，不予为报验根据，中应以技巧规划和合同为界。

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

型式的形式：卧试-单打打开门/双打打开门；双面-上长料/下送料

炉暗锁紧的方式：手动操作时/自己

炉壳不銹钢圆管材质：全冷轧钢/外层不銹钢圆管/全不銹钢圆管

恒温木头材质：碳毡/石墨毡/碳棉人造纤维应用毡/卫浴陶瓷棉人造纤维毡

热处理电加热器、马弗：石墨/CFC/黑色金属

电偶：K/N/C/S测量范围号

电原：KGPS/IGBT(仅选用作中频煮沸)