卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

内阻炉可选用多温区单独控温，温不均性好；

适用智力水压房产调控，水压起伏小；

全胶封堆积室，胶封效用好，抗弄脏效果强；

多入口通道流量气路，流量更加均匀，无火成岩㓟盲区，火成岩功能好；

多极高质量尾气排放整理模式，环镜舒适，能高质量汇集尼古丁及副物质，易整理；

可以配外循环往复快冷系统的，变凉用时短，制作热净化率高；

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

规格\具体型号	HCVD-060609-C	HCVD-101015-C	HCVD-121220-C	HCVD-151530-C	HCVD-152023-C	HCVD-252035-C
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	1500×2000×2300	2500×2000×3500
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±10	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	阻值	功率电阻	阻值	内阻	热敏电阻

大于技术水平指标可跟据生产技术水平符合要求确定调低，不为为报验意义，详细以技术水平计划和意向书为基准。

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

架构表现形式：臥式-单关门/双关门；开式-上起料/下进料

炉暗锁紧办法：全自然/自然

炉壳在材质：全冷轧钢/里边装饰管/全装饰管

墙体保温布料材质：碳毡/石墨毡/碳素人造纤维素固有毡/瓷砖人造纤维素毡

蒸汽暖气片、马弗：石墨/CFC/铝合金

热电偶温度计：K/N/C/S量程号

外接电源：KGPS/IGBT(仅适用人群于中频加水)