晶体高温热处理炉技术特征

阻值炉可主要采用多温区孤立控温，温暖竖直性好；

阻值炉采取F66永乐创新科技独属高水准温、大电流量引电系统，能在较高温度状态下长用时动态平衡实用，也可采取感受到升温方式方法；

供选择配全封闭马弗室，密封垫疗效好，抗环境破坏力量强；

联级极有效率氮氧化合物清洁平台，条件和谐，易清洁；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar。

晶体高温热处理炉产品规格

规格\规格	HVG-100510	HVG-130515	HVG-151530	HVG-201840	VVG-1120	VVG-1520	VVG-2020	VVG-3012
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×500×1000	1300×500×1500	1500×1500×3000	2000×1800×4000	1100×2000	1500×2000	2000×2000	3000×1200
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±15	±10/±15	±10/±15	±15/±20	±10/±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	阻值	电阻	电阻

之上主要参数可利用加工过程特殊要求实行进行调节，未有为查看原则，具体的以枝术工作方案和协议范本起算。

晶体高温热处理炉配置选择

风格风格：水平-单下班/双下班；旋转式-上长料/下进料

炉房门锁紧形式：一键/自動

炉壳质材：外膜304不锈钢304/全304不锈钢304

隔温的材质：碳毡/石墨毡/碳氯纶干固毡

烧水器、马弗才质：石墨/CFC

电偶：C精度等级号

红外仪：单比色/双比色

真空箱泵：机泵组/耐氧化泵组