热解石墨沉积炉技术特征

热敏电阻炉可用多温区单独的控温，室温均匀分布性好；

利用智能化压政策调控，压震荡小；

全开敞沉淀室，抽真空质量好好，抗弄脏业务能力强；

多过道工气路，流场更加均匀，无形成沉淀积累㓟盲区，形成沉淀积累效用好；

单级高效率尾气排放整理机系统，情况和睦，易清除；

先选配外嵌套循环快冷控制系统，下降时光短，产出速率高；

易于工艺流程团队氛围：真空度/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

热解石墨沉积炉产品规格

参数表\应用	VCVD-0305-C	VCVD-0505-C	VCVD-0608-C	VCVD-0612-C	VCVD-0812-C	VCVD-1120-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000/2300
温度均匀性（℃）	±5~±20
极限真空度（Pa）	1-100
压升率（Pa/h）	0.67

之上性能指标可会按照施工工艺让做的调整，未有为初验依照，实际的以技艺实施方案和合同准确。

热解石墨沉积炉配置选择