热解石墨沉积炉技术特征

内阻炉可选用多温区自主控温，环境温度一致性好；

按照智力压差调节，压差价格波动小；

封闭室式管理积累室，良好的密封性的效果优，抗污染问题本事强；

多过道工气路，流场透亮，无磨合全方位，磨合使用好；

多用高效化空气办理体系，区域融洽，易整理；

可选装配外循环设计快冷设计，提温期限短，生育质量高；

易于新工艺欢乐气氛：高压气/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

热解石墨沉积炉产品规格

参数指标\规格	VCVD-0305-C	VCVD-0505-C	VCVD-0608-C	VCVD-0612-C	VCVD-0812-C	VCVD-1120-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000/2300
温度均匀性（℃）	±5~±20
极限真空度（Pa）	1-100
压升率（Pa/h）	0.67

往上参数值可通过新工艺条件来懂得调整，不于为项目验收遵循原则，具体实施以新技术情况报告和协议模板时以。

热解石墨沉积炉配置选择