热解氮化硼化学气相生长炉技术特征

采取现代化的进的控制能力，能精密制造的控制BCl3/NH3的流量的和压力值差，炉膛内沉淀气体安稳，压力值差下降小；

多安全通道方法气路，紧密配合旋转视频料台，无沉积物盲区；

联级空气治理操作系统，能快速治理腐化性空气、液体副结果，生活环境很友好；

可选装配近期最新设计制作的防腐处理蚀真空环境汽轮机，一直操作时期长，维护保养率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/BCl₃/NH₃。

热解氮化硼化学气相生长炉产品规格

性能参数\机型	VCVD-0305-BN	VCVD-0608-BN	VCVD-0612-BN	VCVD-0812-BN	VCVD-1015-BN	VCVD-1218-BN	VCVD-1315-BN	VCVD-1520-BN
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	1000×1500	1200×1800	1300×1500	1500×2000
最高温度（℃）	2000
温度均匀性（℃）	±5~±20
极限真空度（Pa）	1-100
压升率（Pa/h）	0.67

以上的水平参数可据工序特殊要求做出优化，不是 为报验标准，按照以水平预案和服务协议为标准。

热解氮化硼化学气相生长炉配置选择