热解氮化硼化学气相生长炉技术特征

运用高级的进管控技术性，能细密管控BCl3/NH3的联通流量和压强，炉膛内岩浆岩暖湿气流保持稳定，压强跌涨小；

多短信通道方法气路，协助翻转视频料台，无形成沉积任何死角；

多级别空气工作系统，能快速工作灼伤性空气、固体颗粒副代谢物，条件友好合作；

可以选择配最薪设计方案的防腐施工蚀真空系统热泵机组，不断事业时间段长，修理率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/BCl₃/NH₃。

热解氮化硼化学气相生长炉产品规格

主要参数\材质	VCVD-0305-BN	VCVD-0608-BN	VCVD-0612-BN	VCVD-0812-BN	VCVD-1015-BN	VCVD-1218-BN	VCVD-1315-BN	VCVD-1520-BN
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	1000×1500	1200×1800	1300×1500	1500×2000
最高温度（℃）	2000
温度均匀性（℃）	±5~±20
极限真空度（Pa）	1-100
压升率（Pa/h）	0.67

以上的性能参数可给出新工艺需要采取校准，不予为检验重要依据，详细以技术工艺计划书和协商应写。

热解氮化硼化学气相生长炉配置选择