碳化硅外延生长炉技术特征

用到比较好的的把握工艺，能精密机械把握MTS/MS的流量数据和各种压为，炉膛内基性岩环流不稳定性，各种压为下降小；

多清算通道加工气路，流场不匀，无基性岩盲区，基性岩疗效好；

单级高效能空气加工处里程序，能更有效加工处里高被杀菌作用空气、易然易爆气态、粉末状烟尘及低融点延展性结果，场景团结；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生长炉产品规格

运作\款型	HCVD-101015-SiC	HCVD-152023-SiC	VCVD-0608-SiC	VCVD-0612-SiC	VCVD-0812-SiC	VCVD-1120-SiC	VCVD-1218-SiC	VCVD-1520-SiC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±10/±15	±15/±20	±5/±7.5	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	热敏电阻	电阻	电阻

以上内容运作可表明工艺设计追求来进行调准，不为为工程验收前提，重要以高技术方式和协议范本时以。

碳化硅外延生长炉配置选择

构造风格：臥式-单锁门/双锁门；卧式-上有料/下卸料

炉电控锁紧手段：清理/自然

炉壳质量：外层不銹钢材质/全不銹钢材质

保暖质地：碳毡/石墨毡/碳玻璃纤维凝固后毡

电加热设备、马弗的材质：石墨/CFC

热电偶温度计：C/S度数号

真空体泵：机械化泵组/耐酸性不锈钢泵组