碳化硅外延生长炉技术特征

利用现进的有效把控枝术，能精密铸造有效把控MTS/MS的联通流量和压强，炉膛内形成环流不稳，压强振幅小；

多短信通道生产技术气路，流场平滑，无基性岩㓟盲区，基性岩目的好；

联级便捷排放治理程序，能合理治理高结垢性排放、易燃物品易爆废气、胶体煤尘及低凝固点延展性代谢物，环境友谊；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生长炉产品规格

参数指标\应用	HCVD-101015-SiC	HCVD-152023-SiC	VCVD-0608-SiC	VCVD-0612-SiC	VCVD-0812-SiC	VCVD-1120-SiC	VCVD-1218-SiC	VCVD-1520-SiC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±10/±15	±15/±20	±5/±7.5	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻功率	电阻	电阻

左右主要参数可跟据技艺规范要求参与修正，不为为工程竣工验收原则，具体化以能力设计和合同样本为基准。

碳化硅外延生长炉配置选择

型式组织形式：水平-单营业/双营业；立柱式-上起料/下进料

炉防盗门锁紧方式英文：手动挡/一键

炉壳才质：内部不透钢材质/全不透钢材质

保溫金属材质：碳毡/石墨毡/碳弹性纤维应用毡

热处理加热设备、马弗所选材质：石墨/CFC

铂热电阻：C/S量程号

高压气泵：机器泵组/耐金属腐蚀泵组