液相渗硅炉技术特征

功率电阻炉可采取多温区自立控温，平均温度不光滑性好；

阻值炉动用F66永乐科技创新独有较中高温、大交流电引电技木，能在中高温要求下长日子稳固动用，也可动用感应器高温途径；

能选配全封密马弗室，封密作用好，抗造成的污染意识强；

多极效率高氮氧化合物处里系统软件，生态环境友善，易清理工作；

适于工艺气氛：真空/N₂/Ar。

液相渗硅炉产品规格

参数设置\材质	VSII-060609	VSII-101015	VSII-121220	VSII-151530	ISII-0610	ISII-1120	ISII-1320	ISII-1520
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	600×1000	1100×2000	1300×2000	1500×2000
最高温度（℃）	1800	1800	1800	1800	1800	1800	1800	1800
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±15	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	50	50	50	50	50	50	50	50
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻/感应	电阻功率/自感应	电阻器/红外感应	电阻功率/传器

以上的叁数可表明生产工艺条件通过优化，不予为检验合理性，具体的以技艺工作方案和合同协议为标准。

液相渗硅炉配置选择

组成部分样式：直列V型-单开业/双开业；直列V型-上长料/下喷料

炉电磁锁紧习惯：速腾自行档/自行

炉壳所选材质：外层装饰管/全装饰管

隔热才质：碳毡/石墨毡/碳玻纤应用毡

采暖器器、马弗原料：石墨/CFC

铂热电阻：C量程号