炭界面制备沉积炉技术特征

内阻炉可进行多温区独特控温，温湿度光滑性好；

选择智慧心理气压改善，形成沉积心理气压起伏小；

全关闭堆积室，密封性能郊果好，抗污染问题专业能力强； 

多出入口加工气路，流场竖直，无堆积㓟盲区，堆积体验好；

联级极有效率废气排放外理整体，的环境十分友好，易整理；

炭界面制备沉积炉产品规格

产品参数\型号规格	CVI-0305-C	CVI-0608-C	CVI-0612-C	CVI-0812-C	CVI-0817-C	CVI-1120-C	CVI-1320-C	CVI-1520-C
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	800×1700	1100×2000	1300×2000	1500×2000
最高温度（℃）	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
温度均匀性（℃）	±5	±7.5/±10	±7.5/±10	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻/感应	热敏电阻/感应灯	电阻功率/感应开关	内阻/感性	内阻/感應	电阻功率/感器	电阻器/检测	阻值/感應

之内数据可只能根据工艺流程的标准完成調整，不为为验收单前提，大概以技巧设计方案和协议书起算。

炭界面制备沉积炉配置选择

机构方法：开式-上长料/下进料

炉车门锁紧方法：人工操作/自动的

炉壳装饰管材质：外膜装饰管/全装饰管

保热材質：碳毡/石墨毡/碳玻璃纤维应用毡

进行电加热、马弗的材质：石墨/CFC

铂热电阻：C/S度数号

电：KGPS/IGBT(仅适于于中频预热)