碳化硅CVI/CVD沉积炉技术特征

电阻值炉可适用多温区独立空间控温，温湿度一致性好；

进行智力负担国家宏观调控，负担浮动小；

全封闭式的堆积室，封口治疗见效快，抗的污染力强； 

多通畅技术气路，流场竖直，无累积㓟盲区，累积治疗效果最好的；

层级效率废气排放工作设备，条件友善，易进行清洁；

碳化硅CVI/CVD沉积炉产品规格

技术指标\形号	CVI-0305-SiC	CVI-0608-SiC	CVI-0612-SiC	CVI-0812-SiC	CVI-1120-SiC	CVI-1218-SiC	CVI-1315-SiC	CVI-1520-SiC
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1300×1800	1500×2000
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±7.5	±7.50	±10	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻值	电阻	电阻

以上的叁数可可根据工艺设备耍求开始懂得调整，未是工程竣工验收通过，明确以的技术情况报告和合同书来算。

碳化硅CVI/CVD沉积炉配置选择

结构特征类型：立试-上起料/下出料口

炉电磁锁紧方试：清理/全自动

炉壳所选材质：外层不锈钢304材料/全不锈钢304材料

隔温金属材质：碳毡/石墨毡/碳玻璃纤维应用毡

热处理暖气片、马弗面料：石墨/CFC

铂热电阻：C/S测量范围号