氮化硼界面层/CVI沉积炉技术特征

功率电阻炉可主要采用多温区独立的控温，水温匀性好；

用到智力心理有压力管控，心理有压力起伏较大小；

全围合沉淀积累室，密闭使用好，抗的污染力量强； 

多清算通道新工艺气路，流场均匀分布，无岩浆岩墙边，岩浆岩成果好；

多用高效、性价比最高烟气清洗控制系统，场景友好合作，易清洗；

氮化硼界面层/CVI沉积炉产品规格

参数表\产品型号	CVI-0305-BN	CVI-0608-BN	CVI-0612-BN	CVI-0812-BN	CVI-0817-BN	CVI-1120-BN	CVI-1315-BN	CVI-1520-BN
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	800×1700	1100×2000	1300×1500	1500×2000
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	阻值	电阻功率	内阻	功率电阻	电阻器	热敏电阻	电阻功率

上面性能可要根据的工艺规范开始变动，不当为检收措施，关键以技木方法和合同书应写。

氮化硼界面层/CVI沉积炉配置选择

节构表现形式：双面-上起料/下卸料

炉防盗门锁紧办法：人工/半自动

炉壳才质：外层不锈钢管304/全不锈钢管304

墙体保温的材料：碳毡/石墨毡/碳合成纤维凝固后毡

供暖器、马弗质量：石墨/CFC

热电阻：C/S测量范围号